锐科激光：全波段系列产品自主创新，布局光刻配套光源技术储备

有投资者在互动平台向锐科激光提问：“请问公司的产品能用于配套光刻机吗？”
针对上述提问，锐科激光回应称：“尊敬的投资者，您好!锐科激光‘全波段系列产品’围绕激光领域‘全波长、全功率、全脉宽、全应用’目标，实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中，波长仅为213nm的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到150mW，单脉冲能量超过0.6uJ，在DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用。公司高度重视光刻机光源国产化需求，积极布局光刻配套光源相关技术储备，公司研发技术情况请以定期报告披露的情况为准。谢谢!”
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