北方华创申请静电卡盘控温方法专利，使ESC获得极限升温速率

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种静电卡盘、控温方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121764248A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种静电卡盘、控温方法及半导体工艺设备，其中，所述静电卡盘包括多个温区，每个所述温区分别设置有加热器，所述控温方法包括：基于线性叠加原理，确定每个所述加热器的功率分别对每个所述温区的温度的冲击响应序列；根据所述多个温区的目标温度序列与所述冲击响应序列，进行反卷积计算，得到每个所述加热器的理想功率序列；根据所述理想功率序列，对所述加热器进行功率控制，以对所述静电卡盘进行加热。本申请通过建立热传导模型，求解热传导方程，证明不同热源造成的温度曲线是可以独立计算和线性叠加的，利用该结论设计反卷积控制策略对ESC进行控温，可以使ESC获得极限升温速率，并且过冲小。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1399次，财产线索方面有商标信息72条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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