北方华创申请机械手及半导体工艺设备专利，解决抓取承载舟时无法察觉是否抓取到足量承载舟的问题

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“机械手及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121487535A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开一种机械手及半导体工艺设备。所公开的机械手包括基座、第一承托梁、第二承托梁和第一检测组件，第一承托梁和第二承托梁中的至少一者通过第一检测组件与基座相连；第一检测组件包括连接座及设于连接座上的弹性件和第一检测件，弹性件与第一承托梁或第二承托梁配合，连接座与基座相连；在机械手承载有承载舟或承载有预设数量的承载舟时，第一承托梁或第二承托梁用于被承载舟的重力驱使克服弹性件的弹力而触发第一检测件。此方案能解决相关技术涉及的机械手在进行抓取工作时无法察觉是否抓取到承载舟或是否抓取到足量的承载舟，而导致的工艺效率较低的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1376次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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